真空镀膜机的阀门有多少种形式

真空阀门在真空镀膜机中起气流量调节以及管路的切断或接通的重要作用。真空镀膜机的阀门型式有很多，我们可根据真空阀门的传动原理、工作特性、连接方式、具体用途等方法来进行分类，从结构上则主要有节流阀、放气阀、组合阀、隔离阀等总构造。接下来了解国内真空阀门具体的型式：

1、真空翻板阀

高真空气动翻板阀是一种以压缩空气作为动力，用以改变活塞运动方向，从而带动阀板启动，实现了真空系统或管道中的气体的导通与截止。该型式的阀门结构较为简单、开闭快速，且可契合自动控制系统，现已在电子、食品、冶金、生物医药、原子能、航天、化工等中大型设备（如真空镀膜设备、真空炉、真空冷冻干燥设备）等广泛领域应用。

2、真空微调阀

真空微调阀也叫做真空针阀，是一种靠螺杆传动调节锥形针和孔的缝隙长度以改变阀座流导值，可调节流量装置的气体流量、控制真空室的真空度。

3、电磁充气压差真空阀

电磁充气压差阀是一种专门装在机械真空泵进气口上使用的阀门，当真空泵停止抽气时，会通过大气压力使阀板落下封闭真空系统，再利用阀的充气口往泵腔中充入大气，起到防止机械真空泵油返流污染真空系统的作用，还可保持真空系统的真空度，是一种较为新颖的真空阀门。

4、电磁真空阀

这一类型式的真空阀的打开或关闭是靠磁场磁力和弹簧复位力实现的，它有常闭与常开两种类型，通常最多应用的是不通电时常闭的类型，因为如果突然遇到停电的话，阀门会自动关闭，避免了真空室进入大量空气。

5、真空蝶阀

高真空蝶阀有手动式蝶阀、气动式蝶阀、电动式蝶阀和用于调节真空系统的气流量的调节式蝶阀四种类别。该类真空阀门是靠阀板的90°旋转实现气流接通或切断。 和其它阀门相比，它具有开闭快速、体积小的优点，广泛用于真空设备中的真空管道和抽气管道。

6、高真空插板阀

超高插板阀常见的有手动插板阀、气动插板阀和电动插板阀这三种型号，适用于清洁空气及非腐蚀性气体为介质的超高真空系统中切断或接通气流。阀体材料为不锈钢。真空阀门可以任意方向安装、可承受一定的压力。

7、真空挡板阀

真空挡板阀可用于真空系统中作启闭系统，适用以空气及非腐蚀性气体为介质的环境使用。以螺纹结构或平凸轮结构为主要传动部件。运作轻巧、可靠、适用于-30ºC-150ºC的温度范围。

8、隔膜式真空阀

此类真空阀是通过阀杆把橡皮膜压在阀座上，以达到接通或截止真空系统的阀型。 隔膜阀体用铝合金铸造，质量轻、体积小、结构简单、密封性能好。 用氟橡胶隔膜材料，其可适应的温度范围为-30ºC-150ºC，可适用于高真空系统；若采用丁腈橡胶隔膜材料，则可适用于前级粗抽的管道上（温度再-25ºC-80ºC的范围内）的非腐蚀性气体。

9、真空球阀

真空球阀有电动、气动和手动三种，它与上述的真空蝶阀一样，是一种只需旋转90º就能实现开关的真空阀门。真空球阀开关迅速，但比之真空蝶阀体积和漏率都较大。适用介质范围广，主要是水、酸、碱、空气、蒸气等。

10、其它真空阀

(1)真空角阀

用于低、高、超高真空系统中的前级泵的配套元件。以不锈钢为阀体，采用波纹管密封形式作为阀传动密封，解决了传动杆运动的漏气问题。

(2)截止阀

全金属超高真空截止阀采用金属密封，耐高温烘烤，于超高真空系统中有广泛应用。更换密封头方便，阀板每一面都可直接通大气，另一面仍能保持超高真空。也可用于高温或低温下工作的低压管路中。其开关使用次数可大于1000次。

(3)逆止阀

逆止阀是一种常闭型真空阀，具有操作简便、连接迅速、体积小、密封性能好等优势，广泛适用于真空设备、电力、化工、航天等工业领域当中。

真空镀膜机对真空阀门的基本要求有：流量充足、寿命长、密封可靠、容易清洗安装、密封部件耐磨性好、操作简便、能反复使用等，对于节流阀，则有气流量均匀调节功能要求。另外，若是再超高真空镀膜系统当中，还要求其真空阀可承受450ºC烘烤。