真空镀膜机检测气密性要注意些什么

铂加热到800°C~900°C的高温下就会产生正离子的发射现象，而在卤素气体环境中，这种铂发射正离子的现象将剧增，这就是“卤素效应”。利用“卤素效应”设计出来的检漏仪就是卤素检漏仪。本文主要简述在使用卤素检漏仪检查真空镀膜机的气密性时，需要注意的一些问题。

在使用卤素检漏仪时，若卤素检漏仪的仪器探头长时间处在较高浓度的卤素气体环境下，会产生“中毒效应”从而降低检漏仪灵敏度。该装置短时间“中毒”的话，在不含卤素、清洁的空气环境下继续运转一段时间，还可以恢复正常的状态。但装置长时间中毒的话，就只有较小恢复的可能性。因此，在装置使用过程中要加以注意。因而要求在检漏仪的附近不得放置含有卤素化合物的东西，设备的检漏场地需通风良好。

卤素气体的质量大于空气（比空气重）。因此，在真空设备检漏时，要先自被检真空室、管道或真空部件的下部向上部的顺序进行。由于大漏孔修补前是比较难检出小漏孔的，所以在此过程中检出的漏孔需及时修补。

在固定式卤素检漏仪的使用过程中，其探头元件是在真空环境中工作的，探头元件是在10Pa~10⁻¹Pa的压力范围内工作的，这是因为设备真空度太大的话它的灵敏度反而会越低。因此，在进行高真空镀膜设备的检漏时，检漏仪的探头要装设在扩散泵的前级。

在携带式卤素检漏仪的使用过程中，卤素气体通过大的漏孔漏出的更多，可能会逸散到所有的设备缝隙、角落的附近，由于卤素气体的质量比空气大，所以会有较长的停留时间，这样可能导致探头检测到它，得到一些干扰信号。对于这一问题的存在主要是看它的滞留空间的几何形状及检测环境的通风情况。因此，在真空设备的检漏中，需要有良好的通风环境。利用携带式卤素检漏仪进行检漏的过程中，由于卤素气体的扩散系数小，为使被检真空室或管道内各处的卤素气体有一致的浓度，要经过较长的等待时间。

卤素检漏装置的选材避免用到塑料和橡皮，因为塑料和橡皮会吸收卤素气体，还会逐渐释放，导致检漏仪的真空检测过程中运作不稳定。

在示漏气体浓度较高的情况下，卤素检漏仪的指示值与浓度将呈现非线性的关系。因此，在进行真空镀膜机的定量测量时，进入探头的卤素气体要低于百万分之一的浓度。