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真空镀膜机的作用?

发布日期:2019-01-10

目前,市场上的真空内镀膜机只有一个工作室,其需要经过物件 安装、关闭钟罩、抽气、蒸发、真空处置、排气、打开钟罩、取下物件的系列过程,才能完成镀膜工作;而在这种真空内镀膜机处于工作状态时,工作人员必须坚守岗位,注意观察,把握好镀膜时间,并等待下一次操作,这样浪费了人力,工作效率不高。

目的是提供工作效率高的一种真空镀膜机。一种真空镀膜机,本系统由真空镀膜系统和手套箱系统集成而成,可在高真空蒸镀腔室中完成薄膜蒸镀,并在手套箱高纯惰性气体氛围下进行样品的存放、制备以及蒸镀后样品的检测。

蒸发镀膜与手套箱组合,实现蒸镀、封装、等工艺全封闭制作,使整个薄膜生长和器件制备过程高度集成在一个完整的可控环境氛围的系统中,消除有机大面积电路制备过程中大气环境中不稳定因素影响,保障了高性能、大面积有机光电器件和电路的制备。提高了工作效率,同时工作室与工作室之间互相通 连,其空气在相互排放后,也能减少真空抽气时间,节约了生产成本。


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