真空镀膜机精抽太慢主要从以下几个方面进行原因查找：
一、扩散泵可能不太给力。
解决办法：可以用电离规单接到扩散泵泵口，看扩散泵单抽能达到多少，要看抽的时间和极限，然后进行对比。
二、真空系统有微漏。
解决办法：这就需要慢慢检漏，看看保真空时间能不能达不达标。
三、箱体太脏，太脏放气量就大了。
解决办法：清洗箱体
四、前级真空度不行，机械泵或机械泵加罗茨泵的极限真空不行。
解决办法：可以用电阻规单独检测前级管道。
